真空體系用何種真空泵，首要應(yīng)根據(jù)體系的請(qǐng)求，其次應(yīng)對(duì)該泵功能特色有具體了解，對(duì)比了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后，這么才干選用得恰當(dāng)。為便于挑選所要運(yùn)用的真空泵，現(xiàn)將中國(guó)出產(chǎn)的各種類(lèi)型肯富來(lái)真空泵總的狀況概括總結(jié)一下,簡(jiǎn)略對(duì)比它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn)，看來(lái)是必要的。

一、機(jī)械增壓泵（羅茨泵）

作業(yè)壓強(qiáng)規(guī)模10~5x10-4 托，常用規(guī)模2~5x10-3 托，抽速規(guī)模150~2000升/秒，中國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~1 0-2 托之間，需求前級(jí)泵，不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵改變。與油增壓泵比較，作業(yè)壓強(qiáng)規(guī)模較寬，最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托，油增壓泵1~2托)，返流油蒸氣很少，用它抽除富含水蒸氣等可凝性氣體時(shí)較適宜。

二、油封機(jī)械泵

現(xiàn)出產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí)，抽速為0.5~150升/秒，有全系列的產(chǎn)品。

滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。抽速:H型為8~600升/秒;2H型為8~70升/秒。亦有成系列出產(chǎn)的產(chǎn)品。

余擺線式泵抽速可很大，體積小，現(xiàn)在正在試出產(chǎn)。

這類(lèi)泵均用作取得低真空，或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)設(shè)備的可抽除濕潤(rùn)空氣。但極限真空比抽干燥空氣(不必氣鎮(zhèn)時(shí))低一個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速，當(dāng)體系壓強(qiáng)降低時(shí)抽速亦降低，直至挨近該泵的極限真空，抽速亦挨近于零。其抽降系數(shù)有必定規(guī)則。

三、油分散泵

一般油分散泵的作業(yè)壓強(qiáng)規(guī)模10-2~5x10-7托，常用規(guī)模10-8~5x10-6托，抽速規(guī)模20~100000升/秒，金屬、玻璃構(gòu)造的分散泵均成系列出產(chǎn)。超高真空油分散泵極限壓強(qiáng)約為10-10托，除構(gòu)造與一般油分散泵略有一點(diǎn)區(qū)別外，主要是作業(yè)液不一樣，構(gòu)造資料不一樣，即用275硅油等作泵液，構(gòu)造資料用不銹鋼。新設(shè)計(jì)的超高真空泵區(qū)別就較大了。

四、油增壓泵

作業(yè)壓強(qiáng)規(guī)模1~1x10-4 托，常用規(guī)模在0.1~1x10-2托，抽速規(guī)模200~40000升/秒，彌補(bǔ)了機(jī)械泵、分散泵在此壓強(qiáng)規(guī)模內(nèi)抽速小的缺點(diǎn)。對(duì)惰性氣體與其他氣體有一樣的抽速。

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